2022年海南省工业互联网应用优秀案例名单公示

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与广泛采用的使用光刻和XeF2等离子体刻蚀技术制作悬浮圆盘谐振器相比，例名基于锥形面心立方网格桁架底座的3D打印二氧化硅光学微环谐振器具有两个优点。更复杂的结构，年海南省例如直径为25 μm的光学微环谐振器(图2c)和尖端尖锐的微针阵列(图2d)也可以被成功地制造。

链接：工业https://doi.org/10.1038/s41563-021-01111-23D打印二氧化硅的技术及流程为了实现3D打印纳米级精度的二氧化硅，楼峻课题组开发了一种纳米复合材料墨水。即使如此，互联在纳米尺度下制造复杂的三维结构依然十分具有挑战性。